YJJ AGP4000H00 MEMS Pengukur Vakum Komposit Katoda Dingin Digital Presisi Tinggi Pengukur Vakum Pirani

Deskripsi Produk:

YJJ AGP4000H00 MEMS Pengukur Vakum Komposit Katoda Dingin Digital Presisi Tinggi Pengukur Vakum Pirani

Fitur:

I. Pengenalan Produk

Model: AGP4000H00, Pengukur Vakum Komposit Lengkap, Pengukur Konduktivitas Termal Pirani Terintegrasi (mengukur vakum atmosfer hingga sedang) + Pengukur Ionisasi Katoda Dingin (mengukur vakum tinggi)

Peralihan mode ganda otomatis, tidak perlu dipasangkan dengan dua pengukur vakum independen. Probe pengukuran vakum baja tahan karat terintegrasi, dilengkapi dengan tampilan layar warna TFT lokal. Juga mendukung koneksi sinyal analog/digital ke PLC, layar sentuh, host kontrol industri.

Fitur yang membedakan: Layar sentuh Prophiles AGP4000 mirip dengan model pengukur vakum ini, tetapi merupakan produk yang sama sekali berbeda. Pembelian dan penyambungan perangkat keras tidak boleh bingung.

II. Parameter Kinerja Inti

1. Rentang Pengukuran Vakum (Komposit Pengukur Ganda)

Rentang pengukuran total: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (mencakup 6 kali lipat, mencakup pemompaan kasar, vakum sedang, dan vakum tinggi selama proses berlangsung)

Kisaran kerja Pirani: 1×10⁵ Pa ～ 10 Pa (selalu menyala selama proses, pemantauan dari atmosfer hingga vakum sedang)

Ambang Batas Startup Otomatis Katoda Dingin: <10 Pa, secara otomatis memulai pengukuran ionisasi untuk vakum tinggi di bawah tingkat vakum ini, tidak perlu peralihan manual

Unit Pengukuran: Pa / mbar / Torr, tiga unit dapat dialihkan sekaligus, dengan antarmuka Cina dan Inggris

2. Akurasi dan Stabilitas

Kesalahan Pengulangan: ≤±5% pembacaan

Akurasi Pengukuran: ±30% pembacaan skala penuh

Kecepatan Respons: Respons tingkat milidetik Pirani; Katoda Dingin memulai dengan cepat dan stabil pada tegangan tinggi

Karakteristik anti-polusi: Katoda Dingin tidak memiliki filamen tungsten yang dipanaskan, tidak akan terbakar oleh uap minyak atau debu lapisan, memiliki masa pakai lebih lama daripada pengukur ionisasi katoda termal

3. Spesifikasi Catu Daya Listrik

Tegangan Catu Daya: DC 15～30V DC rentang lebar

Konsumsi Daya Keseluruhan: ≤6W

Antarmuka Terintegrasi Komunikasi / Catu Daya: Catu daya terintegrasi RJ45 + RS485

Komunikasi Digital: Modbus RTU, baud rate 4800/9600/19200/115200 dapat disesuaikan, mendukung jaringan multi-perangkat (alamat 1~255)

Output Analog: output tegangan logaritmik 0 ~ 10V, dapat langsung dihubungkan ke perekam, modul analog PLC

Jumlah Peralihan: 2 relai alarm yang dapat diprogram, dapat mengatur ambang batas vakum tinggi/rendah untuk menghubungkan pompa, katup, dan lampu alarm

4. Mekanik, Lingkungan, Material

Flensa Vakum: Flensa pelepas cepat KF25 standar, kedap udara yang sangat baik, mendukung pemasangan sudut apa pun

Bahan Kontak Rongga: Baja tahan karat 304/316 yang dipoles secara elektrik, cocok untuk sistem vakum bebas oli, sistem vakum berpelumas oli ringan

Kisaran Suhu Pengoperasian: 5℃～55℃

Kisaran Suhu Penyimpanan: -20℃～70℃

Perlindungan: Penyegelan logam seluruh mesin, tahan terhadap debu dan polusi minyak ringan

Layar: Tampilan warna TFT mikro, tampilan nilai vakum real-time, suhu internal, status komunikasi, lampu peringatan dua warna untuk vakum tinggi/rendah

AKU AKU AKU. Prinsip Kerja

Pengukur Pirani (Prinsip Konduksi Termal)

Kawat resistor pemanas MEMS internal, molekul gas menyerap panas, semakin tinggi tekanan, semakin cepat pembuangan panas, semakin rendah suhu resistansi; sirkuit mengumpulkan perubahan resistansi dan mengubah atmosfer menjadi tingkat vakum 10Pa, terus bekerja sepanjang proses.

Pengukur Ionisasi Katoda Dingin (Debit Panning)

Ketika vakum di bawah 10Pa, secara otomatis memuat tegangan tinggi, ionisasi gas menghasilkan arus ion; semakin tinggi vakum, semakin kecil arus ion, sehingga mengukur rentang vakum tinggi 10Pa~10⁻⁶Pa.

MCU internal secara otomatis menentukan rentang tekanan, beralih dengan mulus di antara dua mode pengukuran, menghasilkan nilai vakum secara seragam, tidak memerlukan peralatan backend untuk melakukan peralihan logika rentang.

IV. Keuntungan Inti

Pengukur tunggal mencakup seluruh rentang vakum, menggantikan solusi probe ganda "Pengukur Pirani + Pengukur Ionisasi" tradisional, mengurangi biaya peralatan dan ruang pemasangan; Katoda dingin tanpa filamen, tidak takut terhadap dampak atmosfer atau polusi lapisan, memerlukan sedikit perawatan, cocok untuk produksi industri 24 jam terus menerus;

Muncul dengan layar warna lokal, memungkinkan pembacaan nilai vakum di tempat tanpa komputer atas, membuat proses debug dan pemeliharaan menjadi mudah;

Ia juga memiliki output ganda digital analog 0-10V + Modbus, kompatibel dengan layar sentuh Proflex, berbagai PLC, dan sistem akuisisi kontrol industri;

Tegangan lebar DC15~30V, kompatibel dengan lemari peralatan untuk catu daya DC, kompatibilitas kuat di lokasi industri;

Flensa standar universal KF25, dapat langsung mencocokkan pompa molekuler, pompa mekanis, dan saluran pipa standar ruang vakum.

VII. Skenario Aplikasi Utama

1. Semikonduktor, peralatan pelapis vakum (aplikasi inti)

Sputtering magnetron, mesin penguapan, pelapis optik, peralatan film konduktif ITO

Pengemasan wafer, pembersihan plasma, peralatan etsa, pemantauan seluruh proses pemompaan kasar → kurva proses vakum tinggi

Deteksi kebocoran rongga vakum, dikombinasikan dengan peralatan pendeteksi kebocoran helium untuk menentukan titik kebocoran

2. Peralatan laboratorium penelitian

Inkubator anaerobik sel, lemari pengering vakum, tungku sintering tekan panas

Ruang simulasi iklim, bangku uji kedap udara, peralatan uji penuaan vakum material

Teliti ruang eksperimental vakum tinggi, pemantauan vakum sumber ion

3. Baterai lithium, peralatan manufaktur energi baru

Pemanggangan vakum baterai lithium, ruang vakum injeksi, stasiun deteksi kebocoran kedap udara sel

Sistem penguapan untuk penghilang busa elektrolit, peralatan pelapis vakum elektroda

4. Dirgantara, industri pengujian presisi

Ruang uji vakum suhu tinggi dan rendah komponen luar angkasa, peralatan simulasi lingkungan ruang angkasa

Instrumen presisi, sensor stasiun kalibrasi vakum

5. Peralatan vakum penunjang medis

Ruang tekanan negatif medis, peralatan sterilisasi vakum steril, mesin pengeringan beku sampel biologis

Mesin pernapasan pendamping, kontrol hubungan tekanan vakum (dapat dikombinasikan dengan hubungan sensor ExplorIR-M-5 CO₂)

6. Otomatisasi vakum industri umum

Peralatan adsorpsi tekanan negatif vakum, mesin pengemas vakum, kontrol hubungan kelompok pompa vakum, start-stop otomatis vakum melebihi batas pompa mekanis, pompa molekuler, katup isolasi.

VI. Solusi Antarmuka Pendukung (Kompatibel dengan Material Anda yang Ada)

Tampilan atas: Layar sentuh AGP4000 Proflex, membaca nilai vakum melalui Modbus RJ45, melakukan kurva, alarm, dan logika proses otomatis;

Tautan gas: dipasangkan dengan sensor ExplorIR-M-5 CO₂, sensor bau ZP152, mewujudkan pemantauan vakum terintegrasi di dalam ruangan + konsentrasi gas;

Mesin lengkap medis: dikombinasikan dengan host pemantauan oksigen darah DS100A, digunakan untuk peralatan terintegrasi tanda-tanda kehidupan + vakum medis.

Spesifikasi: