AWM42300V Microbridge Gas Mass Air Flow Sensor Untuk Output Analog Gas Kering

Deskripsi Produk:

AWM42300V Microbridge Gas Mass Air Flow Sensor Untuk Output Analog Gas Kering

Fitur:

Sensor Aliran Massa Gas seri AWM40000, tidak diperkuat (mV), rentang aliran/tekanan: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Jenis antarmuka: Manifold.

operasi

Prinsip sensor aliran massa gas microbridge adalah transfer panas.Kecepatan aliran massa gas dipandu melalui permukaan elemen sensor.Tegangan keluaran sebanding dengan massa udara atau gas lainnya yang mengalir melalui pintu masuk dan pintu keluar paket.Kotak yang dirancang khusus mengarahkan dan mengontrol aliran udara secara optimal melalui elemen sensor berstruktur mikro.Paket ini dirancang secara mekanis untuk mudah dipasang pada papan sirkuit cetak.

Sensor aliran massa gas microbridge berisi chip silikon canggih berdasarkan teknologi mikrostruktur canggih.Chip menggunakan film tipis dan struktur jembatan adiabatik dengan pemanas dan elemen sensor suhu.Struktur jembatan dapat merespons dengan cepat dan sensitif terhadap aliran udara udara atau gas lain yang mengalir melalui chip.Elemen pendeteksi ganda di kedua sisi elemen pemanas pusat juga menunjukkan arah dan laju aliran.Film tebal yang dikoreksi laser dan ketahanan film memastikan interchangeability yang konsisten dari sensor ke sensor setiap saat.

Sensor aliran massa gas microbridge menggunakan resistor termal yang dibungkus dengan film silikon nitrida.Resistor ini ditangguhkan, membentuk dua jembatan di atas rongga etching dari chip silikon.Chip ditempatkan di saluran aliran udara ukuran *** untuk memberikan respons aliran yang dapat diulang.Dengan mengukir rongga di bawah jembatan penginderaan aliran, pemanas dan resistor penginderaan dapat mencapai isolasi termal yang efisien.Ukuran kecil dan fungsi isolasi termal dari sensor aliran massa gas microbridge mencapai respons kecepatan maksimum dan sensitivitas tinggi terhadap aliran udara.

Jembatan kembar Wheatstone mengendalikan pengukuran aliran udara - satu menyediakan kontrol pemanas loop tertutup dan yang lain berisi elemen dual sensing.Sirkuit pemanas mengurangi variasi output yang disebabkan oleh perubahan suhu lingkungan dengan menyediakan output yang proporsional dengan arus massa.Sirkuit ini mempertahankan suhu pemanas pada perbedaan suhu konstan di atas suhu lingkungan (160°C), yang ditentukan oleh pengukuran resistensi termal pada chip.Output perangkat sebanding dengan tegangan pasokan dan juga sesuai dengan tegangan diferensial sirkuit jembatan Wheatstone.

Spesifikasi: