YJJ AS200 Pengontrol Aliran Massa Gas MFC Baja Tahan Karat Presisi Tinggi Meter Aliran Gas Mikro Udara

Deskripsi Produk:

YJJ AS200 Stainless Steel MFC Pengontrol Aliran Massa Gas Presisi Tinggi Meter Aliran Mikro-Gas Udara

Fitur:

Pengontrol Aliran Massa Gas Seri AS200

Menyediakan perangkat lunak komputer atas berbasis klien gratis yang canggih

Pengontrol aliran massa gas seri AS200 cocok untuk berbagai gas konvensional, meningkatkan akurasi dan keandalan hasil pengukuran kontrol aliran massa gas. Akurasi pengulangan hingga 0,2% F.S.;

Laju kebocoran rendah 1x10-0 Pa·m3/detik He, kedap udara yang baik, memastikan keselamatan produksi; Dapat mendukung beberapa keluaran sinyal, termasuk sinyal digital, sinyal analog 1-5V, dan sinyal analog 4-20mA, yang dapat menggunakan catu daya tunggal (+15~+28VDC), cocok untuk berbagai skenario kerja; Protokol komunikasi terbuka standar memberikan kemudahan bagi pelanggan untuk mengembangkan perangkat lunak kontrol dan akuisisi secara independen; Pada saat yang sama, produk ini juga menyediakan perangkat lunak komputer atas berbasis klien gratis yang canggih, memfasilitasi debugging dan pengoperasian pengguna.

Produk seri AS200 dikembangkan oleh Aosong Electronics menggunakan teknologi MEMS canggih. Dalam banyak aspek seperti penggerak sensor, kontrol drift nol, dan kontrol katup, teknologi inti telah diadopsi untuk memastikan kinerja tinggi, kualitas tinggi, dan keandalan tinggi produk. Ini adalah instrumen berkualitas tinggi dengan stabilitas yang baik, presisi tinggi, laju kebocoran rendah, dan ketahanan tekanan tinggi.

Pengontrol aliran massa gas (MFC) seri AS200 terutama digunakan untuk kontrol dan pengukuran aliran massa gas yang tepat. AS200 memainkan peran penting dalam penelitian dan produksi di berbagai bidang seperti teknologi sirkuit terpadu semikonduktor, bahan khusus, industri kimia, industri minyak bumi, kedokteran, perlindungan lingkungan dan vakum. Skenario aplikasi tipikalnya meliputi: peralatan proses sirkuit terpadu, seperti epitaksi, difusi, etsa plasma, sputtering, implantasi ion dan berbagai peralatan CVD; peralatan industri lainnya, seperti peleburan serat optik, perangkat reaksi mikro, sistem campuran gas dan distribusi gas, perangkat pengambilan sampel gas, instrumen pengukuran kapiler, kromatograf gas dan instrumen analitik lainnya.

Pengontrol aliran massa gas

Catu daya: 15 - 24V DC (kutub tunggal)

Rentang pengukuran: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/menit

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0.5 - 50 SLM/menit

Akurasi pengulangan: ±0.2% dari Skala Penuh

Waktu respons: 1 detik

Lingkungan pengoperasian: 5 - 45℃

Ukuran: 112.8 * 38 * 115 mm

Spesifikasi: