YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Meter aliran massa gas termal 0,5-50 SLPM 1,5MPa

Deskripsi Produk:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS Pengukur Aliran Massa Gas Termal 0,5 - 50 SLPM 1,5MPa

Fitur:

I. Pembongkaran Model (Detail Arti Setiap Posisi)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: Seri, DN6 (Diameter Dalam 6mm, Antarmuka 1/4")

N2: Gas Standar = Nitrogen (N₂)

M: Prinsip Aliran Massa Termal MEMS

E: Cangkang Paduan Aluminium

0,5: Kisaran Minimum 0,5 SLPM (Standar Liter Per Menit pada 20°C / 1 atm)

50: Jangkauan Maksimum 50 SLPM

15: Tekanan Kerja Maksimum 1,5 MPa

AB: Keluaran = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: Dengan Layar LCD (Aliran Sesaat + Kumulatif)

A: Konfigurasi Standar (Tanpa Kustomisasi Khusus)

II. Parameter Inti (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. Pengukuran Kinerja

Media Terukur: N₂, Udara, O₂, Ar, CO₂, dll. Kering, Bersih, Bebas Minyak, Tanpa Gas Kondensasi

Lubang / Antarmuka: DN6, 1/4" Benang Dalam (G1/4 atau NPT1/4)

Kisaran (N₂, 20°C / 1 atm): 0,5–50 SLPM (Standar Liter / Menit)

Akurasi: ±(1,5% Membaca + 0,2% FS)

Pengulangan: ≤±0,5%FS

Rasio Rentang: 100:1 (Rentang Lebar, Sensitivitas Aliran Rendah)

Waktu Respons: ≤100ms (Perubahan Alur Ikuti Cepat)

Aliran Awal: Rendah hingga 8mm/s (Aliran Sangat Kecil Dapat Diukur)

2. Listrik dan Output

Catu Daya: 12–24 VDC ±10%, Konsumsi Daya < 2W

Output Analog: 4–20mA (Sesuai dengan 0–50 SLPM)

Komunikasi: RS485 (Modbus-RTU), Pemantauan Jarak Jauh Jaringan

Tampilan: Layar LCD, Menampilkan Aliran Sesaat (SLPM) + Aliran Kumulatif

3. Mekanik dan Lingkungan

Bahan Cangkang: Paduan Aluminium (Tipe E), Ringan, Tahan Korosi

Bahan Kontak: Baja Tahan Karat 316L

Tekanan Kerja: ≤1,5 ​​MPa (15bar)

Suhu Kerja: -20°C hingga +60°C

Kelembapan: 0–95% RH (Tanpa Kondensasi)

Tingkat Perlindungan: IP40 (Tahan Debu, Lingkungan Industri Dalam Ruangan / Umum)

Pemasangan: Pemasangan Horizontal / Vertikal Sesuka Hati, Tidak Perlu Segmen Pipa Lurus (Kelebihan MEMS Thermal)

4. Karakteristik Prinsip

MEMS Termal: Pengukuran Langsung Aliran Massa, Tanpa Kompensasi Suhu/Tekanan, Fluktuasi Suhu/Tekanan Akurasi Mempengaruhi

Tekanan Diferensial Ultra Rendah: Kehilangan Tekanan Minimal, Cocok untuk Sistem Tekanan Rendah / Aliran Kecil

Stabilitas Tinggi: Titik Nol Melayang Kecil, Bebas Perawatan Jangka Panjang

AKU AKU AKU. Aplikasi Utama (Pengukuran Tepat pada Lubang Kecil, Gas Aliran Rendah)

1. Semikonduktor / Elektronik (Skenario Inti)

Nitrogen Kemurnian Tinggi (N₂), Oksigen (O₂), Argon (Ar), Rasio Gas Proses dan Pemantauan Aliran

Kontrol Tepat Gas Aliran Kecil dalam Peralatan Pemrosesan Wafer, Difusi, Etsa, Deposisi

2. Kedokteran/Farmasi

Pemantauan Aliran Pengiriman Oksigen / Nitrogen Rumah Sakit (Respirator, Mesin Anestesi)

Gas Steril Farmasi, Gas Pelindung (N₂/Ar) Pengukuran Yang Tepat

3. Laboratorium/Penelitian

Rasio Aliran Kecil, Pencampuran, Pemantauan Gas Reaksi Gas Eksperimental (N₂/O₂/Ar/CO₂)

Pengukuran Gas Aliran Rendah untuk Katalisis, Pembakaran, Pengambilan Sampel Lingkungan, dll.

4. Otomasi Industri

Kontrol Stabil Aliran Kecil Gas Pelindung Pengelasan (Ar/CO₂)

Pemantauan Aliran Pemrosesan Yang Tepat, Peralatan Inspeksi Ledakan / Perlindungan Gas

Pengukuran Konsumsi Energi Akhir Peralatan/Udara Terkompresi Cabang Kecil

5. Lingkungan/Energi Baru

Gas Buang Konsentrasi Rendah, Pemantauan Pengambilan Sampel Aliran Kecil Gas Ekor

Pengukuran Gas Hidrogen Konsentrasi Rendah untuk Sel Bahan Bakar Hidrogen

Spesifikasi: