YJJ AS200A008C100CJCC Pengontrol Aliran Massa Gas MFC - Pengukur Aliran Gas Presisi Tinggi

Deskripsi Produk:

YJJ AS200A008C100CJCC Pengontrol Laju Alir Massa Gas MFC - Pengukur Laju Alir Gas Presisi Tinggi

Fitur:

Pengontrol Laju Alir Massa Gas Seri AS200

Menyediakan perangkat lunak komputer tingkat atas berbasis klien gratis yang canggih

Pengontrol laju alir massa gas seri AS200 cocok untuk berbagai gas konvensional, meningkatkan akurasi dan keandalan hasil pengukuran kontrol laju alir massa gas. Akurasi pengulangan hingga 0,2% F.S.;

Tingkat kebocoran rendah 1x10-0 Pa·m3/detik He, kedap udara yang baik, memastikan keamanan produksi; Dapat mendukung berbagai keluaran sinyal, termasuk sinyal digital, sinyal analog 1-5V, dan sinyal analog 4-20mA, yang dapat menggunakan catu daya tunggal (+15~+28VDC), cocok untuk berbagai skenario kerja; Protokol komunikasi terbuka standar memberikan kemudahan bagi pelanggan untuk mengembangkan perangkat lunak kontrol dan akuisisi secara mandiri; Pada saat yang sama, produk ini juga menyediakan perangkat lunak komputer tingkat atas berbasis klien gratis yang canggih, memfasilitasi debugging dan pengoperasian pengguna.

Produk seri AS200 dikembangkan oleh Aosong Electronics menggunakan teknologi MEMS canggih. Dalam banyak aspek seperti penggerak sensor, kontrol drift nol, dan kontrol katup, teknologi inti telah diadopsi untuk memastikan kinerja tinggi, kualitas tinggi, dan keandalan tinggi produk. Ini adalah instrumen berkualitas tinggi dengan stabilitas yang baik, presisi tinggi, tingkat kebocoran rendah, dan ketahanan tekanan tinggi.

Pengontrol laju alir massa gas seri AS200 (MFC) terutama digunakan untuk kontrol dan pengukuran presisi laju alir massa gas. AS200 memainkan peran penting dalam penelitian dan produksi di berbagai bidang seperti teknologi sirkuit terpadu semikonduktor, bahan khusus, industri kimia, industri perminyakan, kedokteran, perlindungan lingkungan, dan vakum. Skenario aplikasi tipikalnya meliputi: peralatan proses sirkuit terpadu, seperti epitaksi, difusi, etsa plasma, sputtering, implantasi ion, dan berbagai peralatan CVD; peralatan industri lainnya, seperti peleburan serat optik, perangkat reaksi mikro, sistem campuran gas dan distribusi gas, perangkat pengambilan sampel gas, instrumen pengukuran kapiler, kromatograf gas, dan instrumen analitik lainnya.

Pengontrol laju alir massa gas

Catu daya: 15 - 24V DC (kutub tunggal)

Rentang pengukuran: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/menit

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/menit

Akurasi pengulangan: ±0,2% dari Skala Penuh

Waktu respons: 1 detik

Lingkungan operasi: 5 - 45°C

Ukuran: 112,8 * 38 * 115 mm

Spesifikasi: