|
Detail produk:
|
| Skala Penuh: | 100 SCM | Catu daya: | +15 hingga +28 VDC (suplai tunggal) |
|---|---|---|---|
| Sinyal: | analog 0–5V; mendukung komunikasi digital RS485 | Ketepatan: | ±1% FS; Pengulangan: ±0,2% FS |
| Menyoroti: | Pengatur Aliran Massa Gas untuk pembuatan semikonduktor,Sensor aliran udara medis dengan garansi,AS200A008C100CJCC Pengontrol Aliran |
||
AS200A008C100CJCC Pengontrol Laju Alir Massa Gas Digunakan untuk Proses Manufaktur Semikonduktor
Aplikasi Khas
Pemrosesan semikonduktor, CVD, sistem distribusi gas, kontrol gas laboratorium, instrumen analitik, dll.
Spesifikasi:
| Tingkat kebocoran | 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| Ketahanan tekanan | 3 MPa |
| Seri Produk AS200 | Pengontrol Laju Alir Massa Gas MEMS |
| A (Tipe Segel) | A = Segel karet; Sinyal: input/output analog 0–5V |
| 008 (Kode Gas) | 008 sesuai dengan gas yang ditentukan |
| C (Unit Rentang) | C = SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute) |
| 100 (Skala Penuh) | 100 SCCM |
| CJCC | Akhiran untuk kombinasi antarmuka, tipe katup, kelistrikan, dan fitting |
![]()
Kontak Person: Xu
Tel: 86+13352990255